曝光機是20世紀60年初掃描電子顯微鏡基礎發展而來的一種新光刻技術,在70年代后廣泛應用于半導體電路板生產制造。曝光機即電子串曝光機,是集電子(zi)光學、機械、真空、電氣、計算(suan)機技術(shu)等于一體(ti)的復雜(za)的半導(dao)體(ti)加(jia)工設備。廣泛應用于半導(dao)體(ti)、微電子(zi)、生物器件(jian)和納(na)米(mi)科技領(ling)域(yu)。
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