明場與暗場

要解釋清楚(chu)明場(chang)檢測與暗(an)場(chang)檢測，首先就要弄(nong)明白(bai)明場(chang)與暗(an)場(chang)的(de)(de)(de)區(qu)別。明場(chang)與暗(an)場(chang)多少(shao)有(you)點(dian)專業(ye)術語(yu)（黑話）的(de)(de)(de)感覺，通俗點(dian)兒講，所謂(wei)明場(chang)，可以簡單(dan)的(de)(de)(de)理解為背(bei)景是亮(liang)的(de)(de)(de)缺(que)陷是暗(an)的(de)(de)(de)；暗(an)場(chang)則相反，背(bei)景是暗(an)的(de)(de)(de)缺(que)陷是亮(liang)的(de)(de)(de)。

明場檢測與暗場檢測

在半導(dao)體晶圓制(zhi)造環(huan)節(jie)中，為提高產品(pin)良率(lv)、降低生產成本、推進工藝迭代，對晶圓制(zhi)造過程中缺(que)陷的(de)檢(jian)測(ce)(ce)至(zhi)關重要(yao)。根據(ju)檢(jian)測(ce)(ce)技術的(de)不同，缺(que)陷檢(jian)測(ce)(ce)可(ke)分(fen)為電(dian)子束檢(jian)測(ce)(ce)、光學檢(jian)測(ce)(ce)以(yi)及X光量(liang)測(ce)(ce)三種。

再根據光(guang)源方式、成像原理的(de)差異，光(guang)學檢(jian)測(ce)又可(ke)分(fen)為明(ming)場(chang)(chang)檢(jian)測(ce)（有時(shi)候也叫亮場(chang)(chang)檢(jian)測(ce)）與(yu)暗場(chang)(chang)檢(jian)測(ce)，有圖形(xing)檢(jian)測(ce)與(yu)無圖形(xing)檢(jian)測(ce)。

明場檢測示意圖

明(ming)場(chang)缺(que)(que)陷檢(jian)測是(shi)指在明(ming)亮的(de)(de)環境下(xia)通過(guo)物體的(de)(de)反射光(guang)，對(dui)產品的(de)(de)缺(que)(que)陷進行檢(jian)測，通常(chang)使用(yong)顯微鏡或高分辨率相機等(deng)光(guang)學設備，適(shi)用(yong)于對(dui)產品表面較大的(de)(de)損(sun)傷(shang)、瑕(xia)疵或其它缺(que)(que)陷的(de)(de)檢(jian)測。

暗場缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)檢(jian)測(ce)是通過將光(guang)(guang)源放置在(zai)被檢(jian)測(ce)物體的背(bei)后，使(shi)用(yong)強窄(zhai)光(guang)(guang)束照射樣本，通過對樣本散射光(guang)(guang)線的檢(jian)測(ce)，這時樣本表(biao)(biao)面的視場是暗的，沒有(you)缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)的地方一片黑暗，缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)處有(you)散射光(guang)(guang)亮，其對于檢(jian)測(ce)晶圓(yuan)表(biao)(biao)面的顆粒與表(biao)(biao)面缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)非常靈敏。。

明場(chang)檢測與暗場(chang)檢測的最大區別就是(shi)檢測源是(shi)反射(she)光還是(shi)散射(she)光。

暗場檢測示意圖

道量檢測(ce)是半(ban)導體晶圓制造的(de)關(guan)鍵工序之一(yi)，其中明場和暗場檢測(ce)是重要(yao)的(de)檢測(ce)環(huan)節，對(dui)芯片(pian)制造起著至關(guan)重要(yao)的(de)作用，是的(de)重要(yao)環(huan)節，在多個(ge)方面存在很大的(de)不(bu)同。

明場檢(jian)(jian)測與暗場檢(jian)(jian)測的成像區(qu)別

一般情況下(xia)，明場(chang)(chang)檢測的成(cheng)像(xiang)樣品為黑(hei)色背景為白色，暗場(chang)(chang)檢測的成(cheng)像(xiang)樣品為白色背景為黑(hei)色。

一顆芯片在明(ming)場與暗場下的成像，左明(ming)右暗

明場(chang)檢(jian)測對(dui)于較大的缺陷更(geng)為敏感，暗場(chang)檢(jian)測則對(dui)微小的缺陷更(geng)為敏感。