芯片(pian)生(sheng)產(chan)包含近千道工(gong)序。為了保(bao)證芯片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)生(sheng)產(chan)質(zhi)量和穩定性(xing)，在每一(yi)道工(gong)序中，檢(jian)測(ce)是(shi)不可或(huo)缺(que)的(de)(de)(de)(de)(de)環(huan)節(jie)。隨著需求的(de)(de)(de)(de)(de)不斷增加，半導(dao)體工(gong)藝技術的(de)(de)(de)(de)(de)同(tong)步迭代升級(ji)，芯片(pian)正朝著更(geng)(geng)先進的(de)(de)(de)(de)(de)制程、更(geng)(geng)高的(de)(de)(de)(de)(de)集成(cheng)度、更(geng)(geng)精密(mi)的(de)(de)(de)(de)(de)特征尺(chi)寸和更(geng)(geng)復雜(za)的(de)(de)(de)(de)(de)設計的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)向演變(bian)，同(tong)時，這使(shi)得芯片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)陷(xian)尺(chi)寸要(yao)求越來(lai)越高，檢(jian)測(ce)工(gong)藝更(geng)(geng)具(ju)有挑戰性(xing)。如(ru)今的(de)(de)(de)(de)(de)視覺檢(jian)測(ce)設備(bei)，要(yao)求能(neng)檢(jian)測(ce)到納(na)米級(ji)別的(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)陷(xian)并(bing)盡(jin)可能(neng)在更(geng)(geng)早(zao)的(de)(de)(de)(de)(de)生(sheng)產(chan)環(huan)節(jie)中對識別出。

視覺檢測設備

典型的(de)(de)視覺檢測設備包括(kuo)用于(yu)承(cheng)載晶圓(yuan)的(de)(de)運(yun)動平(ping)臺和光學顯(xian)微鏡系(xi)統（相(xiang)(xiang)(xiang)機(ji)）在(zai)內的(de)(de)分系(xi)統。晶圓(yuan)的(de)(de)被(bei)測位置(zhi)需要時刻對準相(xiang)(xiang)(xiang)機(ji)的(de)(de)焦(jiao)點。檢測時，受到平(ping)臺二維平(ping)面度和晶圓(yuan)翹曲的(de)(de)影響(xiang)，運(yun)動平(ping)臺在(zai)運(yun)動過(guo)程(cheng)中會調節相(xiang)(xiang)(xiang)機(ji)和晶圓(yuan)的(de)(de)距離來(lai)實現(xian)聚焦(jiao)，這(zhe)便是自動對焦(jiao)。

自動對焦的方式

自動對焦(jiao)的(de)方式有很多種(zhong)，這里我們主要介紹以下兩種(zhong)典(dian)型的(de)自動對焦(jiao)模式。

?被動尋焦

這種對焦(jiao)方式(shi)(shi)更(geng)準確的(de)描述(shu)應當為(wei)尋焦(jiao)。由于(yu)對焦(jiao)方向未知，晶(jing)圓在(zai)相(xiang)機焦(jiao)距附近以一定(ding)速度(du)運動(dong)的(de)同時，相(xiang)機持續拍攝連(lian)續的(de)圖像（類似于(yu)核(he)磁共振切片）。上位機在(zai)找到最清晰圖像后(hou)指(zhi)令晶(jing)圓運動(dong)到相(xiang)應位置（如圖1）。這種對焦(jiao)方式(shi)(shi)對運動(dong)平(ping)臺的(de)最小步(bu)進和重復定(ding)位精(jing)度(du)有著(zhu)一定(ding)的(de)要(yao)求。但由于(yu)尋焦(jiao)的(de)工藝特性(xing)，其產率往往不高(gao)。

圖(tu)1：被動尋焦示意圖(tu)

?主動對焦

主動(dong)對焦是(shi)指在運動(dong)平臺進行XY向(xiang)運動(dong)時，實時調節物鏡和(he)晶圓(yuan)的距(ju)離（h）以(yi)保持最佳(jia)的聚焦（如圖2）。距(ju)離（h）信息需(xu)要通過mapping或前饋輸入給運動(dong)控制(zhi)系統，并指令(ling)Z向(xiang)的執行器。這有助(zhu)于提高(gao)機器的產率。但對于運動(dong)平臺的動(dong)態性能提出了挑戰。

圖(tu)(tu)2：主動(dong)尋(xun)焦示意圖(tu)(tu)

深圳市雙翌光電科技有限公司是一家以機器視覺為技術核心，自主技術研究與應用拓展為導向的高科技企業。公司自成立以來不斷創新，在智能自動化領域研發出視覺對位系統、視(shi)覺定位、視(shi)覺檢測、圖像處理庫等(deng)為(wei)核(he)心的(de)(de)多款自(zi)主知識產(chan)權產(chan)品。涉及自(zi)動貼合機(ji)(ji)、絲印(yin)機(ji)(ji)、曝光(guang)機(ji)(ji)、疊(die)片機(ji)(ji)、貼片機(ji)(ji)、智能檢測、智能鐳(lei)射等(deng)眾多行(xing)業領域。雙翌(yi)視(shi)覺系(xi)統(tong)最高(gao)(gao)生(sheng)產(chan)精度(du)可達um級(ji)別，圖像處理精準、速度(du)快，將智能自(zi)動化(hua)制造行(xing)業的(de)(de)生(sheng)產(chan)水平提升到(dao)(dao)一個更高(gao)(gao)的(de)(de)層次，改進了以(yi)往(wang)落后的(de)(de)生(sheng)產(chan)流程，得(de)到(dao)(dao)廣大(da)用(yong)戶的(de)(de)認可與(yu)肯定。隨(sui)著智能自(zi)動化(hua)生(sheng)產(chan)的(de)(de)普及與(yu)發(fa)展，雙翌(yi)將為(wei)廣大(da)生(sheng)產(chan)行(xing)業帶來更全(quan)面、更精細、更智能化(hua)的(de)(de)技術及服(fu)務。