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在半(ban)導體制(zhi)造中，晶(jing)圓(yuan)(yuan)自動(dong)聚(ju)(ju)(ju)焦(jiao)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)技(ji)術(shu)至關重要，雙翌光電(dian)(dian)的(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)探(tan)針(zhen)自動(dong)測(ce)(ce)試應用(yong)軟(ruan)件V1.0，集成(cheng)了(le)自動(dong)聚(ju)(ju)(ju)焦(jiao)功(gong)能，可確(que)保探(tan)針(zhen)與(yu)晶(jing)圓(yuan)(yuan)精準對接。該(gai)軟(ruan)件支持(chi)多(duo)功(gong)能檢(jian)(jian)測(ce)(ce)，涵蓋表(biao)面(mian)缺陷分析(xi)、電(dian)(dian)氣(qi)性能測(ce)(ce)試等，檢(jian)(jian)測(ce)(ce)精度(du)達(da)到微米級(ji)。通(tong)過自動(dong)聚(ju)(ju)(ju)焦(jiao)與(yu)微米級(ji)精度(du)，軟(ruan)件有效(xiao)提(ti)(ti)升(sheng)了(le)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)效(xiao)率與(yu)準確(que)性，降(jiang)低了(le)因對位偏(pian)差導致的(de)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)誤差，為半(ban)導體制(zhi)造商提(ti)(ti)供了(le)可靠的(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)解(jie)決方案(an)。